但这些方法的精加工效率低，等离子体处理 内部无法避免机械接触精加工所固有的缺陷，影响了精加工表面的质量。需要更复杂（高效）的光学精加工方法来满足对 SiC 光学器件加工精度日益增长的需求。我们提出了一种用于大气压等离子体发生器的抛光技术。这是一种非接触式光学精加工技术，通过在电极之间施加的高频功率，
